http://home-ir-warmth.com/th/tags/%E0%B8%84%E0%B8%A7%E0%B8%B2%E0%B8%A1%E0%B8%A3%E0%B9%89%E0%B8%AD%E0%B8%99/ Recent content in ความร้อน on Gentle Home Infrared Warmth Hugo th Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/th/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/th/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="กระบวนการไหม้ด้วยการให้ความร้อนด้วยอินฟราเรด"></p> <p>บนสายการผลิต 300mm การเผาเทียบเท่าไม่ได้เป็นแค่การ “burn-off” แต่เป็นการบริหารงบประมาณความร้อนที่เข้มงวด คราบสารเรซิ่นที่ตกค้างหลังการล้างอาจส่งผลกระทบต่อชั้นลิโธกราฟีถัดไป และถ้าการให้ความร้อนไม่สม่ำเสมอ จะเสี่ยงต่อ thermal runaway ที่ส่งผลเสียต่อผลผลิต เราออกแบบโมดูลเผาอินฟราเรดให้ตอบโจทย์สถานการณ์ดังกล่าว</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญเชิงเทคนิค</strong><br> อินฟราเรดให้พลังงานที่รวดเร็วและไม่สัมผัสโดยส่งผ่านตามการดูดซับ ไม่ใช่ตามอุณหภูมิรวม ตัวปล่อยคลื่นสั้นอินฟราเรดของเราคู่กับการออกแบบความร้อนที่เสริมด้วยควอตซ์ ควบคุมความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ในช่วง ±0.1°C ตลอดหน้าต่างกระบวนการ ระบบรักษาเสถียรภาพที่จุดตั้งค่าจริงสำหรับการล้าง photoresist ด้วยความแม่นยำซ้ำซ้อนที่ช่วยควบคุมมิติสำคัญให้คงที่<br> การรองรับคลีนรูมไม่ได้เป็นแค่เรื่องรอง เราใช้วัสดุปล่อยก๊าซต่ำ มีรอยต่อที่ปิดมิดชิด และเส้นทางที่ควบคุมฝุ่นละอองอย่างเข้มงวด เพื่อให้ระดับฝุ่นละอองอยู่ภายในเกณฑ์ Class 1–100 ผลลัพธ์คือโปรไฟล์การล้างที่คาดเดาได้ อัตราการล้างที่สม่ำเสมอ และความเครียดความร้อนที่เกิดขึ้นกับฟิล์มใต้สุดต่ำที่สุด</p> <p><strong>ทำไมมันจึงใช้ได้ในโรงงาน</strong><br> ในกระบวนการเผา เวลาเท่ากับผลผลิต การเร่งความร้อนอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลารอบแต่ต้องควบคุมอุณหภูมิไม่ให้เกิดการเบี่ยงเบน อินฟราเรดให้ความร้อนตรงไปที่เรซิ่นโดยตรง ทำให้ห้องและตัวจับเวเฟอร์เย็นกว่า ลดการรบกวนความร้อนระหว่างส่วนประกอบ นั่นหมายถึงการเกิดความผิดปกติน้อยลงของกระบวนการ ลดของเสีย และรักษาอัตราผลลัพธ์ต่อกะอย่างสม่ำเสมอ<br> การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากพลังงานถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง คือบนเวเฟอร์ ไม่กระจายไปให้ชิ้นส่วนทำความร้อนอื่นๆ ความน่าเชื่อถือขึ้นอยู่กับเวลาทำงาน: โมดูลทำงานต่อเนื่อง 24/7 พร้อมหน้าต่างบำรุงรักษาที่กำหนดไว้ และผลลัพธ์คงที่ตามสเปกผ่านเวเฟอร์หลายพันแผ่น</p> <p><strong>สิ่งที่ต้องรู้</strong><br> การเผาอินฟราเรดไวต่อระยะห่างระหว่างปล่อยคลื่นกับเวเฟอร์ และความแตกต่างของการแผ่รังสีความร้อนในแต่ละชั้นฟิล์ม การติดตั้งต้องล็อกระยะห่างให้คงที่ และต้องมีสูตรการสอบเทียบที่เหมาะสมกับสแตกของคุณ ควรเผื่อระยะเวลาการเตรียมระบบสั้นๆ เพื่อปรับจูนจุดตั้งค่าและยืนยันความสม่ำเสมอในแต่ละล็อต<br> เมื่อผ่านการสอบเทียบแล้ว กระบวนการจะมีความเสถียร แต่ต้องถือเป็นพารามิเตอร์ที่ควบคุมอย่างเข้มงวด ไม่ใช่ค่าดีฟอลต์ที่ใช้ได้กับทุกกรณี</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/253BpA-n23s?feature=oembed" title="กระบวนการไหม้ด้วยการให้ความร้อนด้วยอินฟราเรด" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://goldisgood.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://o-yate.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>