Нагреватель для упаковки на уровне пластинки

Sat, 20 Jun 2026 02:39:49 +0800

На линиях производства типа FO-WLP стабильность параметров RDL начинается с этапа нагрева пластин. Изменение температуры на 1°C во время процесса мягкого нагрева фотополимерной пленки или затвердевания упаковочного материала может привести к изменению ширины линий на поверхности пластины, возникновению пустот и порче пластин, которые уже прошли процедуру литографии. Мы разработали специальный нагреватель для упаковки пластин, который обеспечивает стабильную температуру на протяжении всего процесса производства.

Суть технологии заключается в использовании коротковолнового инфракрасного излучения от матрицы из кварца и галогеновых элементов. Это позволяет быстро достичь заданной температуры без её превышения. На всей площади пластины в 300 мм однородность температуры составляет ±0,1°C при типичных температурах мягкого нагрева (90–120°C) и жесткого нагрева (100–150°C). Соответствие стандартам чистых помещений класса 1–100 обеспечивается за счет использования корпуса из нержавеющей стали 316L, изоляторов из PVDF, а также системы контроля за наличием частиц в воздухе. Контроллер поддерживает стабильную температуру в реальном времени, обеспечивая точность в пределах ±0,2°C между партиями продукции и в течение дня.

Фанат on Gentle Home Infrared Warmth

Нагреватель для упаковки на уровне пластинки