Процесс обеззараживания нагреванием инфракрасным излучением

Wed, 10 Jun 2026 02:14:55 +0800

На линии 300mm окисление — это не просто «выжигание». Это управление жестким тепловым бюджетом. Остатки фоторезиста после стриппинга могут «привидеться» в следующем слое литографии, а при неравномерном нагреве существует риск теплового пробоя, который снизит выход годной продукции. Наши инфракрасные модули для окисления созданы с учётом этих реалий.

Технически важные моменты
Инфракрасное излучение обеспечивает быстрый бесконтактный нагрев, пропорциональный поглощению, а не массовой температуре. Наши коротковолновые инфракрасные излучатели в сочетании с кварцевым термодизайном обеспечивают однородность температуры на уровне пластин в границах ±0.1°C по всему окну процесса. Система сохраняет стабильность на установленных параметрах, используемых для стриппинга фоторезиста, с повторяемостью, достаточной для поддержания контроля критических размеров.

Процесс on Gentle Home Infrared Warmth

Процесс обеззараживания нагреванием инфракрасным излучением