Вафля on Gentle Home Infrared Warmth

Отражатель для лампы для высыхания пластинки

Wed, 24 Jun 2026 01:30:38 +0800

На этапе литографии отклонение температуры на 1°C во время процесса жарки не является «риском». Это приводит к простою производственной линии. Контроль критических размеров выполняется не в соответствии с требованиями, и партия продукции остается негодной для использования.

Первым фактором, определяющим успешность процесса жарки, является рефлектор в лампе для обработки пластин. Всё дело именно в нем.

Нам нужен контроль, который можно измерить. Мы настраиваем геометрию рефлектора так, чтобы спектр излучения лампы падал на поверхность пластины с точностью до ±0,1°C. Это обеспечивает стабильные условия для процесса жарки.

Инфракрасная кварцевая лампа для пластин

Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800

На производственном участке запекание фоторезиста — это не «желательно», а обязательное условие. Отклонение температуры в горячей зоне на 2°C быстро изменит смещение критического размера, и линия не допускает тех отклонений, которые ранее могли быть оправданы. Наш инфракрасный кварцевый светильник для обработки пластин разработан с учётом этой реальности: температура должна оставаться стабильной смену за сменой, день за днём.

Что имеет техническое значение
Светильник использует коротковолновое инфракрасное кварцевое излучение для прямого нагрева пластин и подложек — быстрый и прямой перенос тепла. Конструкция ориентирована на повторяемость: высокая термическая однородность по всей освещаемой зоне и стабильная излучательная способность в течение срока службы лампы. Это важно, когда тепловой бюджет в этапах запекания литографии — как мягкого, так и жёсткого — очень ограничен и нельзя допускать дополнительное загрязнение частицами. Система предназначена для чистых помещений класса 1–100 и вписывается в стандартные габариты оборудования для полупроводников.

Нагреватель для сушки пластин Micro LED

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

На линии Micro LED сушка — это не «перерыв», который можно взять, а рычаг повышения выхода годной продукции, которым нельзя пренебрегать. Колебания температуры во время предварительной мягкой сушки фоторезиста или сушки после очистки сдвинут ширину линии от целевого значения, оставят остатки и вызовут рост количества частиц. Когда нагреватель сбоит, планировщик платит — в виде брака и переделок.

Что важно под капотом

Данный нагреватель сушки пластин построен на элементах коротковолнового инфракрасного излучения и кварцевом термоизоляционном канале. Цель — равномерность температуры на уровне пластины с допустимыми отклонениями ±0.1°C. Установка заданной температуры происходит быстро, а профиль температурного режима повторяется из цикла в цикл, что позволяет держать термическое воздействие на фоторезист в пределах бюджета без превышений.