Более эффективный способ обработки материалов в чистых комнатах
Если вы когда-либо бывали на производстве полупроводников, вы знаете, как трудно сушить фотополимеры или заставлять клеи затвердевать без ухудшения качества воздуха. Обычно для этого используется горячий воздух. Но проблема в том, что использование горячего воздуха в чистых комнатах — это настоящий кошмар. Приходится постоянно бороться с системой кондиционирования воздуха, чтобы сохранить стандарты чистоты.
Вот здесь и пригождаются инфракрасные лампы. Вместо того чтобы нагревать всю комнату, они направляют энергию прямо на объект обработки. Это позволяет избежать лишних нагрузок на систему кондиционирования. К тому же, такие лампы достигают рабочей температуры за несколько секунд. Не нужно тратить время на нагрев печи. Это просто экологичнее.
Сложность заключается в настройке оборудования. Нельзя просто поставить любую лампу на стол. Мы используем кварцевые корпуса, потому что нельзя допустить выделения примесей, которые могут повредить пластину. Одна-единственная примесь может сделать весь комплект бракованным.
Также важно правильно выбрать длину волны. Энергия должна попадать именно на целевой материал, а не проникать внутрь и повреждать элементы схемы.
И, конечно же, нужно контролировать интенсивность нагрева. Если вы будете использовать слишком высокую мощность, это может привести к возникновению «горячих точек» или даже к деформации поверхности материала. Я всегда рекомендую использовать контроллер PID и термопару для поддержания температуры в пределах 2°C. Это поможет избежать многих проблем.
Зачем менять оборудование? Помимо научных аспектов, это также экономически выгодно. Инфракрасная печь гораздо меньше по размерам, чем обычная печь. Это позволяет сократить расходы на энергию на 30–50%. Установка такой печи происходит очень быстро. Есть ещё один совет: проверьте блок питания. У него бывает большой пусковой ток, и никто не хочет тратить время на перезапуск автоматических выключателей.