На производственной площадке все происходит по определенным правилам. Если температура в процессе отверждения клея отклоняется от нормы, это приводит к тому, что вся партия продукции становится бракованной. Температурные колебания не только тратят материал зря, но и снижают качество готовой продукции, а также ограничивают возможности использования данного метода литографии и упаковки в последующих этапах производства. Необходима система отверждения, которая будет действовать как константа процесса, а не как ещё одна переменная, которую нужно контролировать.
Что имеет значение внутри системы
Мы создали систему отверждения таким образом, чтобы температура на поверхности подложки оставалась стабильной в пределах ±0,1°C. Система работает в условиях чистой комнаты класса 1–100. Модуль нагрева использует коротковолновое инфракрасное излучение, при этом температура контролируется с помощью термометра с замкнутым циклом измерений; значит, значения температуры определяются непосредственно на поверхности, а не на основе данных с датчиков в камере. Количество частиц в воздухе не превышает 1 частицы на кубический фут при размере частиц 0,1 мкм. Пути движения воздуха спроектированы таким образом, чтобы избежать турбулентности, которая может нарушить процесс склеивания. Допустимое отклонение параметров составляет ≤0,2% за 10 000 циклов, ведь в производстве полупроводников отклонения недопустимы.
Почему эта система подходит для процесса склеивания
Клей для склеивания отверждается в узких температурных диапазонах. Если температура слишком низкая, связь между компонентами остается недостаточно прочной. Если температура слишком высока, происходит выделение газов, что портит качество соединения. Наша система обеспечивает точный контроль температуры на всех этапах процесса — от нагрева до охлаждения. Это позволяет всегда добиваться желаемого результата при использовании клея производителя. Это сокращает количество необходимых корректировок, обеспечивает стабильную прочность соединения и делает процесс отверждения не причиной затруднений в производстве. Потребление энергии снижается на 20–30% по сравнению с конвекционными печами, а время выполнения операций сокращается благодаря низкой тепломассе и быстрой реакции системы на изменения температуры.
Что необходимо учитывать заранее
Эта система разработана для интеграции в автоматизированные линии производства. Однако для её работы требуется стабильное электроснабжение с низким уровнем шума, а также специальные системы вентиляции для поддержания стабильного уровня частиц в воздухе. Эту систему нельзя просто заменить на существующие устройства, если интерфейсы для передачи данных и вентиляции не соответствуют требованиям. Необходимо спланировать модернизацию с учетом существующих правил управления процессом, а также проверить эффективность работы системы с учетом конкретной формулы клея — его экзотермические свойства могут различаться в зависимости от химического состава.