Не позволяйте нагревающим элементам разрушить ваши пластины
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, что воздушные фильтры справляются лишь с половиной задачи. Настоящей проблемой являются нагревающие элементы – они могут стать источником выделения газов и частиц именно в тот момент, когда это совсем не нужно.
Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп. Это помогает избежать появления примесей на поверхности пластин.
Проблема с материалами
Обычный кварц содержит примеси. При повышении температуры эти примеси испаряются. Это не очень хорошо. Мы используем кварц высокой чистоты, чтобы оболочка лампы не начинала отделять частицы при колебаниях температуры. Также мы убеждаемся, что кварц хорошо выдерживает резкие изменения температуры. Это предотвращает появление трещин, осколков стекла и микроскопической пыли в процессной камере.
Правильное распределение тепла
Мы используем инфракрасные лампы коротковолнового диапазона, так как они быстро нагревают поверхность пластины. Чем быстрее происходит нагрев, тем меньше времени пластина проводит при экстремальных температурах. Это снижает риск возникновения странных химических реакций на поверхности пластины.
Здесь важна точность. Если вы используете инструменты размером 300 мм, длина и мощность лампы должны соответствовать параметрам вашего источника питания. В противном случае возникают «горячие точки». А если мощность лампы слишком велика, а охлаждение недостаточно, нити нагревателя сгорят слишком быстро.
Замена ламп
Мы используем стандартные разъемы, поэтому замена лампы происходит очень просто. Вам не придется тратить время на перепайку всей конструкции ради замены сгоревшей лампы.
Но есть одно предупреждение: кварц высокой чистоты чувствителен к кожному жиру. Одна-единственная отпечаток пальца может привести к появлению напряжений в структуре кварца. Пожалуйста, используйте перчатки без ворса при установке ламп. Если на кварц попадет жир, он начнет разрушаться еще до того, как нити нагревателя сгорят. Это небольшой шаг, но он поможет избежать многих проблем.