Partes do aquecedor de resistências para UV extremo (EUV)

Mon, 01 Jun 2026 18:12:39 +0800

No piso de litografia, a exposição EUV leva o orçamento térmico de cada camada de fotorresiste ao limite. Uma variação de temperatura superior a ±0,5°C durante o soft bake ou hard bake é suficiente para perder as metas de dimensão crítica (CD), gerar defeitos de impressão e descartar wafers que já acumulam horas de histórico de processo front-end. Essas peças de aquecedor que alimentam as etapas de bake não são acessórios. São nós de controle de processo, simples e direto.

Resistir on Gentle Home Infrared Warmth

Partes do aquecedor de resistências para UV extremo (EUV)