Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você opera uma sala limpa de classe 100 (ISO 5), certamente já sabe o quão perigoso é a presença de uma única partícula indesejada. Um pequeno pedaço de oxidação ou um pouco de gás emitido por um elemento de aquecimento podem destruir seu wafer ou componente ótico.
Os aquecedores resistentes convencionais são geralmente a causa desse problema. Eles se desgastam e oxidam com facilidade. Eles simplesmente não foram feitos para esse nível de precisão. É por isso que optamos por lâmpadas infravermelhas de quartzo sintético de alta pureza.
Por que o quartzo funciona tão bem?
Usamos quartzo de sílica fundida como material das lâmpadas. A vantagem é que ele não se degrada nem libera partículas microscópicas, mesmo quando submetido a temperaturas extremas. Além disso, o calor é transmitido por radiação infravermelha de ondas curtas. Em vez de aquecer todo o ar ao redor do componente, a energia vai diretamente para o próprio componente. Menos movimento do ar significa um produto muito mais limpo. É simples e eficaz.
Detalhes importantes sobre a instalação
Essas lâmpadas conseguem suportar altas densidades de calor. Podemos usar tubos de 100 mm para tratamentos localizados, ou arrays enormes de 500 mm, dependendo do tamanho do wafer que precisa ser aquecido. A potência da lâmpada é ajustada de acordo com o espaço disponível.
Uma coisa importante a observar são os conectores. Usamos conectores do tipo R7 ou SK15 para garantir uma conexão firme. Uma conexão frouxa pode causar arcos elétricos, o que não só destrói a lâmpada, mas também libera vapores metálicos na sala limpa. Ninguém quer ter que lidar com essa sujeira.
Dependendo do que você está aquecendo, pode ser necessário usar revestimentos diferentes. O quartzo transparente oferece um poder de aquecimento imediato. Mas, se você se preocupar com pontos quentes e desejar uma distribuição mais uniforme do calor, podemos adicionar um revestimento fino para suavizar as áreas problemáticas.
Algumas advertências práticas
As lâmpadas de quartzo aquecem rapidamente. Elas atingem sua temperatura quase instantaneamente. Mas elas também ficam muito quentes. Se você colocar um array de 2000 W em um espaço pequeno, os ventiladores de resfriamento precisam ser bons o suficiente. Se o ar não circular ao redor das lâmpadas, os conectores podem ser danificados. Além disso, verifique bem os cabos. Mantenha-os longe da zona de radiação, caso contrário, o isolamento dos cabos poderá derreter.