Czujnik temperatury dla narzędzia do płytek krzemowych

Sun, 26 Jul 2026 14:25:56 +0800

Uniknij uszkodzenia płytek dzięki naszym elementom grzewczym
Jeśli pracujesz w sali czystej klasy 100, napewno wiesz, że filtry powietrza rozwiązują tylko połowę problemu. Prawdziwym problemem są elementy grzewcze – mogą one stanowić źródło emisji gazów i cząstek dokładnie wtedy, gdy tego najmniej potrzebujesz.

Dlatego używamy wysokoczystego syntetycznego kwarcu do naszych lamp IR. Dzięki temu unikamy wpływu niepożądanych cząstek na płytki.

Kwestia materiałów
Standardowy kwarc zwykle zawiera domieszki. Gdy temperatura wzrasta, te domieszki ulegają wyparowaniu. To nie jest dobre. Staramy się więc używać wysokoczystej krzemionki, aby obudowa lampy nie uwalniała cząstek przy każdej zmianie temperatury. Ponadto upewniamy się, że kwarc jest dobrze spięty, by móc radzić sobie z szybkimi cyklami nagrzewania i chłodzenia. Dzięki temu unikamy pęknięć, odłamków szkła oraz mikroskopijnych cząstek, które mogłyby dostać się do komory procesowej.

Wysokotemperaturowy piec do fab labu

Tue, 02 Jun 2026 04:11:47 +0800

On the fab floor, a 2°C swing during photoresist bake is enough to shift a linewidth by nanometers. A single particle during drying can kill a lot. That’s why this high-temperature furnace exists: to take variability out of the thermal steps. We built it for the moments when temperature isn’t just a parameter—it is the process.

Na hali produkcyjnej zmiana temperatury o 2°C podczas wypieku fotooporu wystarcza, by przesunąć szerokość linii o kilka nanometrów. Pojedyncza cząstka podczas suszenia może spowodować wiele defektów. Dlatego istnieje ten piec wysokotemperaturowy: aby wyeliminować zmienność w etapach termicznych. Zbudowaliśmy go na sytuacje, gdy temperatura nie jest tylko parametrem, lecz stanowi sam proces.

Temperatura on Gentle Home Infrared Warmth

Czujnik temperatury dla narzędzia do płytek krzemowych

Wysokotemperaturowy piec do fab labu