Micro LED wafel droogverwarmer

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

Op een Micro LED-lijn is drogen geen “pauze” die je kunt nemen—het is een opbrengsthebel die je je niet kunt veroorloven verkeerd te hanteren. Een temperatuurprobleem tijdens de softbake van de fotolak of het drogen na het reinigen kan de lijnbreedtes van het doel afhalen, residuen achterlaten en de deeltjestelling verhogen. Wanneer de verwarming fluctueert, betaalt de planner daarvoor—in afval en herwerk.

Wat er onder de motorkap belangrijk is

We hebben deze waferdroogverwarming ontwikkeld rondom kortgolvige infrarode elementen en een thermisch pad dat is geïsoleerd met kwarts. Het doel is wafer-niveau uniformiteit waarop je kunt vertrouwen, binnen ±0,1°C. De setwaarde stabiliseert snel, en het profiel herhaalt zich run na run, zodat de fotolakbakes binnen het thermische budget blijven zonder overshoot. De kamer is ontworpen voor schoonruimte Klasse 1–100 werking. Gelaste verbindingen en laag-uitgas materialen houden de deeltjesgeneratie op nul tijdens de droogcyclus.

Micro on Gentle Home Infrared Warmth

Micro LED wafel droogverwarmer

Wat er onder de motorkap belangrijk is