Vermijd dat je verwarmingselementen je wafers beschadigen
Als je een zuivere werkomgeving van klasse 100 hebt, weet je vast al dat luchtfilters maar de helft van het werk doen. Het echte probleem zijn de verwarmingselementen. Zij kunnen ongemerkt stoffen afgeven en deeltjes losmaken, precies op het moment dat je dat het minst kunt gebruiken.
Daarom gebruiken we voor onze IR-lampen hoogzuiver synthetisch kwarts. Hierdoor blijven er geen ongewenste stoffen op de wafers achter.
Over materialen
Standaardkwarts bevat meestal onzuiverheden. Wanneer het materiaal heet wordt, verdampen deze onzuiverheden. Dat is niet prettig. We gebruiken dus hoogzuiver silicium, zodat de lamp geen deeltjes afgeeft wanneer de temperatuur verandert. We zorgen er ook voor dat het kwarts bestand is tegen snelle veranderingen in temperatuur. Hierdoor ontstaan er geen barsten of scherven. Er komt ook geen microscopisch klein stof in de proceskamer terecht.
Het juiste niveau van warmte
We gebruiken kortegolflengte-IR-licht, omdat dit snel de oppervlakte van de wafer bereikt. Hoe sneller de wafer wordt opgewarmd, hoe minder tijd deze onder extreme temperaturen hoeft te doorbrengen. Dit is belangrijk, want zo wordt het risico op ongewenste chemische reacties verminderd.
Precisie is hier cruciaal. Als je werkt met een 300mm-apparaat, moeten de lengte en de vermogenswaarde van de lamp perfect passen bij je voedingsbron. Anders ontstaan er hete plekken. En als je te hoge vermogenswaarden gebruikt, zonder voldoende koeling, zullen de filamenten veel te vroeg kapotgaan.
Het vervangen van de lampen
We gebruiken standaardconnectoren, zodat de lampen gemakkelijk vervangen kunnen worden. Je hoeft niet de hele dag bezig te zijn met het herwerken van alle kabels alleen om een kapotte lamp te vervangen.
Maar er is één waarschuwing: hoogzuiver kwarts is gevoelig voor huidolie. Eén vingerafdruk kan al tot problemen leiden. Gebruik dus handschoenen zonder vezels wanneer je de lampen installeert. Als olie op het kwarts terechtkomt, zal dit eerder tot problemen leiden dan wanneer de filamenten echt kapotgaan. Het is een kleine stap, maar het bespaart veel frustratie.