Pemanas berasaskan semikonduktor yang dikawal oleh PID

Mon, 29 Jun 2026 03:25:38 +0800

Di dalam bilik pembakaran yang canggih ini, perubahan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk mengubah kualiti bahan photoresist daripada yang baik menjadi yang tidak boleh digunakan. Jika anda ingin melindungi kualiti produk, kawalan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia perlu dianggap sebagai parameter proses yang penting.

Apa yang penting dalam sistem ini
Pemanas semikonduktor yang dikawal oleh sistem PID ini direka untuk berfungsi dalam lingkungan suhu yang stabil, sesuai untuk stesen pembakaran litografi. Kestabilan suhu pada permukaan wafer dapat dicapai pada tahap ±0.1°C, dan kebolehulangan proses juga dapat dipastikan dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Badan pemanas ini direka untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, dengan bahan dan permukaan yang dipilih agar tidak ada penjanaan zarah-zarah yang merosakkan kualiti produk. Pemanas ini direka untuk beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan kestabilan suhu memastikan bahawa suhu tetap berada dalam julat yang ditetapkan untuk bahan photoresist.

Dikawal on Gentle Home Infrared Warmth

Pemanas berasaskan semikonduktor yang dikawal oleh PID