http://home-ir-warmth.com/ms/tags/abu/ Recent content in Abu on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ms Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/ms/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/ms/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Pemanasan proses pengasapan inframerah"></p> <p>On the 300mm line, ashing bukan sekadar “burn-off.” Ia menguruskan bajet terma yang ketat. Sisa photoresist selepas penyingkiran boleh meninggalkan jejak dalam lapisan litografi berikutnya, dan jika pemanasan tidak sekata, risiko larian termal boleh mengurangkan hasil. Kami mereka modul ashing inframerah kami untuk beroperasi dalam keadaan tersebut.</p> <p><strong>Apa yang penting, dari segi teknikal</strong><br> Inframerah memberikan tenaga pantas tanpa sentuhan yang berskala mengikut penyerapannya, bukan mengikut suhu pukal. Pemancar inframerah gelombang pendek kami, digabungkan dengan reka bentuk haba dipertingkatkan kuarza, mengekalkan uniformiti pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C merentas julat proses penuh. Sistem ini mengekalkan kestabilan pada titik tetapan yang digunakan untuk penyingkiran photoresist dengan kebolehulangan yang cukup ketat untuk mengekalkan kawalan dimensi kritikal.</p>