http://home-ir-warmth.com/ko/tags/%EC%A0%80%ED%95%AD%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 저항하다 on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 18:12:39 +0800 http://home-ir-warmth.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 01 Jun 2026 18:12:39 +0800 http://home-ir-warmth.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="극자외선(EUV) 감광액 히터 부품"></p> <p>리소그래피 현장에서는 EUV 노광이 모든 포토레지스트 층의 열 예산을 한계까지 밀어붙인다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 동안 ±0.5°C 이상의 온도 변동은 치명적인 치수(CD) 목표 미달, 인쇄 결함 발생, 그리고 이미 수시간의 전공정 이력이 쌓인 웨이퍼 폐기로 이어질 수 있다. 베이크 공정을 담당하는 히터 부품은 단순한 부속품이 아니다. 이들은 순수한 공정 제어 노드이다.</p>