http://home-ir-warmth.com/ja/tags/led-%E7%99%BA%E5%85%89%E3%83%80%E3%82%A4%E3%82%AA%E3%83%BC%E3%83%89/ Recent content in LED 発光ダイオード on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="マイクロLEDウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>Micro LEDラインにおいて、乾燥は単なる「休止時間」ではなく、取り扱いを誤ることが許されない歩留まりの要因である。フォトレジストのソフトベークや洗浄後の乾燥中に温度の乱れが発生すると、ライン幅が目標値から外れ、残留物が残り、パーティクルカウントが増加する。ヒーターが不安定になると、スケジューラーはスクラップやリワークでその代償を負うことになる。</p>