http://home-ir-warmth.com/ja/tags/%E7%86%B1%E9%9B%BB%E5%AF%BE/ Recent content in 熱電対 on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="半導体ヒーター用熱電対"></p> <p>フォトレジストを<a href="https://o-yate.net">焼成</a>する際には、わずかな温度の変動でも許されません。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃の誤差が生じると、ウェーハ全体の寸法精度に影響が出ます。検査員が気づく前に、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような損失を未然に防ぐために、<a href="https://o-yate.com">半導体</a>ヒーター用の熱電対を開発しました。</p> <p><strong>重要なのは内部構造です</strong><br> この熱電対は、数十分の1度単位での温度制御を実現するために設計されています。ホットゾーン内でのウェーハ全体の温度均一性を±0.1℃以内に保ち、それによってフォトレジストの流れや溶剤の除去が規格内で行われます。このセンサーはクラス1～100の<a href="https://henruite.com">清浄室</a>で使用可能で、粒子を全く放出しないため、リソグラフィーやトラックインテグレーションの過程で汚染が起こることがありません。出力の再現性も常に安定しており、大量生産時に計画外の停止が起きることはありません。プローブの形状は標準的なヒーターブロックやコネクタに適合しているため、取り付けが簡単で、交換も迅速です。</p>