http://home-ir-warmth.com/ja/tags/%E3%83%AC%E3%83%99%E3%83%AB/ Recent content in レベル on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 02:39:49 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/fan-out-wafer-level-packaging-heater/ Sat, 20 Jun 2026 02:39:49 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/fan-out-wafer-level-packaging-heater/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハレベルパッケージング用ヒーター"></p> <p>FO-WLPプロセスにおいては、RDLの稳定性は焼成時から始まります。フォトレジストのソフトベイクやケースの硬化処理中に1°Cの温度変動があると、線幅が変化したり、気泡が発生したりし、すでにリソグラフィ工程を通過したウェハーでも不良になってしまいます。そこで、私たちはウェーハ単位でのパッケージング用ヒーターを開発し、シフトごとにも<a href="https://o-yate.net">安定</a>した温度管理を実現しました。</p>