http://home-ir-warmth.com/ja/tags/%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%9C%E3%83%AB%E3%83%89/ Recent content in レイボルド on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 02:00:31 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 27 Jun 2026 02:00:31 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="レイボルド・真空ヒーターのスペア部品"></p> <p>ファブの現場では、ご存知の通り、ウェーハ上の温度が0.2℃でも変動すれば、線幅の制御が乱れ、フォトレジストのプロファイルも崩れてしまいます。Leybold製の真空ヒーターの性能が低下すると、単に歩留まりが悪くなるだけでなく、24時間体制での生産において無駄な時間がかかってしまいます。私たちは、このような状況を解消するために、Leybold製の真空ヒーターのスペア部品を製造しました。これにより、装置が本来持つ熱挙動を再現でき、24時間体制の生産にも対応できるようになります。</p>