ウェーハ on Gentle Home Infrared Warmth

ウェーハ加工ツール用温度センサー

Sun, 26 Jul 2026 14:25:32 +0800

加熱要素がウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運用しているなら、空気フィルターだけでは十分ではないことはご存知でしょう。本当の問題は、加熱要素です。これらは、最も避けたい時に、ガスや粒子を放出する原因となります。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 03:05:27 +0800

壊れた1つのランプが、全体の生産を台無しにするのを防ぎましょう。
大量生産のMEMS製造では、1つの故障が全週分の作業を台無しにしてしまうこともあります。
赤外線ランプが壊れると、単に生産が停止するだけでなく、石英の破片や金属の粒子がウェーハに付着してしまいます。これは本当に厄介な状況です。だからこそ、私たちはIR加熱器を特別な仕様で設計したのです。そうすれば、故障が大惨事に発展するのを防げます。

ウェーハ加熱時の安全距離

Sat, 18 Jul 2026 02:10:39 +0800

装置が溶けるのを防ぐ：ウェーハを加熱するためのより良い方法
半導体ウェーハを加熱するために赤外線ヒーターを使用したことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。実際にウェーハを加熱するのは簡単です。問題は、高価な機器がその熱を吸収してしまうことを防ぐことです。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Sat, 18 Jul 2026 02:03:15 +0800

赤外線加熱と強制送風：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのか？

熱風から赤外線加熱に切り替えるということは、単に部品を交換するだけではありません。それは、エネルギーをウェーハ表面に伝達する方法全体を変えることです。一度、強制送風方式を考えてみてください。これは対流を利用しており、つまり、ウェーハ表面を温めるのは空気が担う役割です。効果はありますが、速度が遅いのです。一方、赤外線加熱は異なります。放射エネルギーを直接ウェーハに当てるのです。

ウエハー硬化ランプ用反射板

Wed, 24 Jun 2026 01:30:38 +0800

リソグラフィーの工程において、ハードベイク時に1℃の温度変動が生じても、それは「リスク」とは言えません。それは製造を停止しなければならない状況です。重要な寸法制御が規格を外れてしまい、そのロットは使用不可能になってしまいます。

ウェーハレベルパッケージング用ヒーター

Sat, 20 Jun 2026 02:39:49 +0800

FO-WLPプロセスにおいては、RDLの稳定性は焼成時から始まります。フォトレジストのソフトベイクやケースの硬化処理中に1°Cの温度変動があると、線幅が変化したり、気泡が発生したりし、すでにリソグラフィ工程を通過したウェハーでも不良になってしまいます。そこで、私たちはウェーハ単位でのパッケージング用ヒーターを開発し、シフトごとにも安定した温度管理を実現しました。