http://home-ir-warmth.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on Gentle Home Infrared Warmth Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用赤外線石英ランプ"></p> <p>製造現場において、フォトレジストのベークは「あったらいいな」ではなく、厳密な制約条件である。ホットゾーンで2℃のずれが生じると、クリティカルディメンションのバイアスが急激に変化し、過去には許容されていたような異常を許してくれない。こうした現実を前提に、当社はウェーハ処理用の赤外線クォーツランプを<a href="https://o-yate.net">設計</a>した。温度はシフトを重ねても、日々変動しないことが必要だ。</p> http://home-ir-warmth.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800 http://home-ir-warmth.com/ja/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="マイクロLEDウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>Micro LEDラインにおいて、乾燥は単なる「休止時間」ではなく、取り扱いを誤ることが許されない歩留まりの要因である。フォトレジストのソフトベークや洗浄後の乾燥中に温度の乱れが発生すると、ライン幅が目標値から外れ、残留物が残り、パーティクルカウントが増加する。ヒーターが不安定になると、スケジューラーはスクラップやリワークでその代償を負うことになる。</p>