Termocoppia per riscaldatore a semiconduttori

Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800

Durante il processo di cottura del fotorest, qualsiasi variazione di temperatura è inaccettabile. Una deviazione di 2°C durante la cottura può causare variazioni nelle dimensioni dei wafer. La qualità del prodotto viene compromessa prima ancora che l’operatore se ne accorga. Abbiamo progettato questo termocoppia per i riscaldatori a semiconduttori, al fine di evitare tali problemi fin dall’inizio.

Cosa è importante nella struttura del termocoppia
Questo termocoppia è progettato per garantire un controllo preciso della temperatura, dato che le tolleranze richieste sono dell’ordine delle decime di grado. Consente una uniformità di temperatura pari a ±0,1°C nella zona di riscaldamento, in modo che il flusso del fotorest e la rimozione dei solventi avvengano entro i limiti previsti. Il sensore è compatibile con ambienti puliti di classe 1–100 e non emette particelle, evitando così contaminazioni durante i processi di litografia. La ripetibilità delle misurazioni è costante nel tempo, riducendo così i tempi di fermo imprevisti degli impianti ad alta produttività. La geometria del sensore permette una facile installazione nei blocchi di riscaldamento e nelle interfacce di connessione standard.

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Termocoppia per riscaldatore a semiconduttori