Riscaldatore per asciugatura di wafer Micro LED

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

Su una linea Micro LED, l’asciugatura non è una “pausa” che puoi prendere: è un leva di rendimento che non puoi permetterti di gestire male. Un’imprecisione di temperatura durante la cottura soft del fotoresist o l’asciugatura post-pulizia porterà a larghezze di linea fuori target, lascerà residui e farà aumentare il conteggio delle particelle. Quando il riscaldatore scivola, il pianificatore ne paga le conseguenze, in termini di scarti e rifacimenti.

Cosa conta sotto il cofano

Abbiamo costruito questo riscaldatore per l’asciugatura dei wafer attorno a elementi a infrarossi a onda corta e a un percorso termico isolato in quarzo. L’obiettivo è l’uniformità a livello di wafer di cui ci si può fidare, entro ±0,1°C. Il setpoint si stabilizza rapidamente e il profilo si ripete corsa dopo corsa, in modo che le cotture del fotoresist rimangano all’interno del budget termico senza overshoot.
La camera è progettata per il funzionamento in cleanroom di Classe 1–100. Giunti saldati e materiali a bassa emissione di gas mantengono la generazione di particelle a zero durante il ciclo di asciugatura.

Micro on Gentle Home Infrared Warmth

Riscaldatore per asciugatura di wafer Micro LED

Cosa conta sotto il cofano