Riscaldatore a semiconduttori controllato da PID

Mon, 29 Jun 2026 03:25:38 +0800

Nelle zone di cottura dei semiconduttori, anche un cambiamento di temperatura di mezzo grado è sufficiente per far sì che il profilo del fotorestatore diventi inutilizzabile. Se si vuole garantire una produzione di qualità, il controllo termico non può essere trascurato: deve essere considerato un parametro fondamentale del processo di produzione.

Cosa è importante realmente
Questo riscaldatore a controllo PID è progettato per funzionare in un ciclo chiuso, ottimizzato apposta per le stazioni di cottura utilizzate nella litografia. È possibile mantenere un’omogeneità della temperatura di ±0,1°C sulla superficie attiva del wafer, garantendo così ripetibilità da un ciclo all’altro. Il corpo del riscaldatore è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100; i materiali e le superfici utilizzati sono stati scelti per evitare la formazione di particelle. Il riscaldatore è progettato per funzionare 24/7, senza interruzioni impreviste. La stabilità della temperatura garantisce che il valore della temperatura rimanga entro i limiti consentiti dal fotorestatore.

Controllato on Gentle Home Infrared Warmth

Riscaldatore a semiconduttori controllato da PID