Mantenere la camera pulita al livello Class 100
Se gestite una sala pulita di classe 100 (ISO 5), sicuramente conoscete bene il problema rappresentato da una singola particella in più. Un piccolissimo frammento di ossido o un po’ di gas emesso da un elemento riscaldante possono distruggere il vostro wafer o i componenti ottici.
I riscaldatori resistentivi tradizionali sono solitamente la causa di questi problemi: si deteriorano facilmente e si ossidano. In sostanza, non sono adatti per questo livello di precisione. Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi a base di quarzo sintetico ad alta purezza.
Perché il quarzo funziona così bene
Utilizziamo quarzo di silice fusa per costruire le lampade. Il vantaggio è che non si degrada e non produce detriti microscopici, anche quando viene sottoposto a temperature estreme. Inoltre, il calore viene trasmesso tramite radiazioni a onde corte. In questo modo, l’energia arriva direttamente sul pezzo da riscaldare, senza causare movimenti d’aria che potrebbero sollevare polvere. Meno movimento d’aria significa un prodotto molto più pulito. È semplice, ed efficace.
Dettagli tecnici riguardo all’installazione
Queste lampade riescono a gestire un’elevata densità di calore. Possiamo utilizzare tubi di dimensioni ridotte, come quelli da 100 mm, per un riscaldamento localizzato, oppure array di dimensioni maggiori, fino a 500 mm, per riscaldare interi wafers. La potenza delle lampade viene regolata in base allo spazio disponibile.
Un aspetto da considerare sono i connettori: utilizziamo connettori R7 o SK15 per assicurare una connessione stabile. Una connessione instabile può causare scariche elettriche, che non solo danneggiano la lampada, ma introducono anche vapore di metallo nella sala pulita. Nessuno vuole affrontare quel tipo di problemi.
A seconda di ciò che si vuole riscaldare, potrebbe essere necessario utilizzare rivestimenti diversi. Il quarzo trasparente offre una potenza elevata, ma se si vogliono evitare punti caldi e ottenere una distribuzione uniforme del calore, possiamo aggiungere un rivestimento sottile per migliorare la situazione.
Avvertenze pratiche
Le lampade a quarzo funzionano molto velocemente: raggiungono la temperatura desiderata in pochissimo tempo. Tuttavia, emettono molto calore. Se si inserisce un array ad alta potenza, come quello da 2000 W, in uno spazio ristretto, i ventilatori di raffreddamento devono essere sufficientemente potenti. Se l’aria non circola intorno alle lampade, i connettori potrebbero danneggiarsi. Inoltre, è importante controllare bene i cavi: bisogna mantenerli lontani dalla zona di radiazione, altrimenti l’isolamento dei cavi potrebbe fondersi.