http://home-ir-warmth.com/id/tags/pengabuan/ Recent content in Pengabuan on Gentle Home Infrared Warmth Hugo id Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/id/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/id/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Proses pengasapan pemanasan inframerah"></p> <p>Pada lini 300mm, ashing bukan sekadar “burn-off.” Ini adalah pengelolaan anggaran termal yang ketat. Sisa residu photoresist setelah proses strip bisa menimbulkan efek bayangan (ghosting) pada lapisan litografi berikutnya, dan jika pemanasan tidak merata, Anda berisiko mengalami pelarian termal yang dapat menurunkan hasil produksi. Kami merancang modul ashing inframerah kami untuk beroperasi dalam kondisi tersebut.</p> <p><strong>Apa yang penting secara teknis</strong><br> Inframerah memberikan energi cepat tanpa kontak yang bergantung pada absorpsi, bukan pada temperatur massal. Pemancar inframerah gelombang pendek kami, dikombinasikan dengan desain termal berbasis kuarsa, menjaga keseragaman suhu di level wafer dalam kisaran ±0,1°C di seluruh jendela proses. Sistem ini mempertahankan stabilitas pada titik setel yang sebenarnya digunakan untuk penghilangan photoresist, dengan tingkat pengulangan yang cukup ketat agar kontrol <a href="https://o-yate.com">dimensi</a> kritis tetap terjaga.</p>