Pemanas pengering wafer Micro LED

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

Pada lini Micro LED, proses pengeringan bukanlah “waktu istirahat” yang bisa diabaikan—melainkan faktor pengendali hasil produksi yang tidak boleh salah kelola. Gangguan suhu selama proses photoresist soft bake atau pengeringan pasca-pembersihan akan menyebabkan lebar garis (linewidth) menyimpang dari target, meninggalkan residu, dan meningkatkan jumlah partikel. Saat pemanas tidak stabil, penjadwal bertanggung jawab atas kerugian berupa produk cacat dan pengerjaan ulang.

Apa yang penting di balik sistem

Kami merancang pemanas pengering wafer ini menggunakan elemen inframerah gelombang pendek dan jalur termal terisolasi kuarsa. Tujuannya adalah meraih uniformitas suhu pada level wafer yang dapat dipercaya, dalam batas ±0,1°C. Setpoint stabil dengan cepat, dan profil suhu terulang konsisten setiap siklus, sehingga proses pemanggangan photoresist tetap sesuai anggaran termal tanpa adanya lonjakan suhu berlebih.

Lampu pengering layar fleksibel fab

Wed, 03 Jun 2026 01:52:14 +0800

Pada lini display fleksibel, tahap pengeringan pasca-photoresist bukan sekadar jeda. Ini adalah titik kontrol, jelas dan sederhana. Jika pemanasan dinaikkan terlalu cepat, uap pelarut akan membentuk lapisan kulit dan meninggalkan cacat. Jika tahan terlalu lama, anggaran termal akan merembes ke TFT di bawahnya, menyebabkan pergeseran lebar garis dan mengurangi hasil produksi. Lampu harus memanaskan film dengan tepat pada waktu dan lokasi yang dibutuhkan, tanpa adanya pergeseran.

Apa yang penting secara teknis
Kami merancang lampu pengering dengan pemanasan near-infrared (NIR), dengan kontrol bidang termal hingga sub-milimeter. Array pemancar dipetakan dan dikalibrasi sehingga keseragaman suhu di zona aktif terjaga dalam ±0,1°C. Ini bukan angka promosi—melainkan perbedaan antara penguapan pelarut yang stabil dengan variasi ketebalan film sisa yang muncul akibat ketidakteraturan dari ujung ke ujung. Repetabilitas dijamin melalui kontrol loop tertutup, sehingga profil pemanggangan yang sama dapat dipertahankan secara konsisten, batch demi batch, shift demi shift.

Mengeringkan on Gentle Home Infrared Warmth

Pemanas pengering wafer Micro LED

Apa yang penting di balik sistem

Lampu pengering layar fleksibel fab