Hentikan elemen pemanas yang merusak wafer Anda
Jika Anda menggunakan ruang bersih kelas 100, Anda tentu tahu bahwa filter udara hanya berfungsi untuk mengurangi kotoran sebagian saja. Masalah sesungguhnya berasal dari elemen pemanas. Elemen pemanas ini bisa menjadi sumber polutan dan partikel-partikel kecil yang merusak wafer, tepat pada saat Anda paling tidak membutuhkannya.
Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi untuk lampu IR kami. Bahan ini mencegah adanya kotoran yang menempel pada wafer.
Mengenai bahan yang digunakan
Kuarsa biasa umumnya mengandung kotoran. Ketika suhu meningkat, kotoran-kotoran tersebut akan menguap. Hal ini tentu tidak baik. Kami menggunakan silika berkualitas tinggi agar lapisan pembungkus lampu tidak melepaskan partikel setiap kali suhu berubah. Kami juga memastikan bahwa kuarsa tersebut tahan terhadap perubahan suhu yang drastis. Dengan demikian, tidak akan ada retakan atau serpihan kaca yang masuk ke dalam ruang proses.
Mencapai suhu yang tepat
Kami menggunakan sinar IR berpanjang gelombang pendek, karena cahaya ini dapat mencapai permukaan wafer dengan cepat. Semakin cepat suhu naik, semakin sedikit waktu yang dibutuhkan oleh wafer untuk berada pada suhu ekstrem tersebut. Ini merupakan keuntungan besar, karena risiko reaksi kimia yang tidak diinginkan pada permukaan wafer pun berkurang.
Akurasi sangat penting di sini. Jika Anda menggunakan alat berukuran 300 mm, panjang dan daya lampu harus cocok dengan suplai daya yang digunakan. Jika tidak, akan timbul titik-titik panas. Jika daya lampu terlalu tinggi tanpa adanya kipas pendingin yang memadai untuk mengeluarkan panas tersebut, filamen lampu akan cepat rusak.
Mengganti lampu tersebut
Kami menggunakan konektor standar, sehingga lampu tersebut dapat diganti dengan mudah. Anda tidak perlu menghabiskan waktu untuk memperbaiki seluruh sistem hanya untuk mengganti lampu yang rusak.
Namun, perlu diingat bahwa kuarsa berkualitas tinggi sangat sensitif terhadap minyak kulit. Satu jejak sidik jari saja sudah cukup untuk menyebabkan kerusakan pada kuarsa. Silakan gunakan sarung tangan bebas linting saat memasang lampu tersebut. Jika minyak menempel pada kuarsa, hal tersebut akan menyebabkan kerusakan sebelum filamen benar-benar rusak. Langkah kecil ini akan membantu menghindari banyak masalah.