अर्धचालक इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप

Tue, 23 Jun 2026 13:39:51 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेक प्रोफाइल” – अर्थात् सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक – किसी भी चीज़ के आकार/आकृति को नियंत्रित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। हॉट ज़ोन में 5°C का भी अंतर, इटच लेयर की गुणवत्ता पर असर डालता है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपें विकसित की हैं, जिससे ऐसी अनियमितताओं को दूर किया जा सके।

तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड है; इसलिए इसकी प्रतिक्रिया बहुत तेज़ है – कुछ ही सेकंडों में। इससे वेफर तक सटीक ऊर्जा पहुँचती है। वेफर के विभिन्न हिस्सों में तापमान की विषमता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; ऐसे में ही बेकिंग प्रक्रिया नियमित रूप से हो पाती है। यह लैंप बिना किसी दोष के काम करता है, एवं क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी आसानी से उपयोग में आ सकता है। ऑपरेशन के दौरान इसका आउटपुट स्थिर रहता है; 5,000 घंटों तक इसका उपयोग किया जा सकता है, एवं आउटपुट में 5% से भी कम विचलन होता है।

गर्मी प्रदान करना on Gentle Home Infrared Warmth

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