उपचार/ठीक करना on Gentle Home Infrared Warmth

प्रमाणित इन्फ्रारेड क्यूरिंग लैंप निर्माण केंद्र

Sat, 18 Jul 2026 02:18:18 +0800

अपने ओवन का इंतजार करना बंद करें: आईआर क्यों बेहतर है?

कई सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में अभी भी गर्म हवा का उपयोग करके ही उत्पादों को सुखाया जाता है। यह तो पुरानी विधि है – हवा को गर्म करके उसे सामग्रि तक पहुँचाना… लेकिन यह प्रक्रिया बहुत ही धीमी है। उच्च-दबाव वाले उत्पादन केंद्रों में यह समस्या बहुत ही गंभीर है… क्योंकि यह उत्पादन प्रक्रिया में बाधा डालती है।

हमने ऐसी पुरानी विधियों के बजाय प्रमाणित आईआर लैंपों का उपयोग शुरू कर दिया है। यही कारण है कि यह विधि सब कुछ बदल देती है।

वेफर क्यूरिंग लैंप हेतु रिफ्लेक्टर

Wed, 24 Jun 2026 01:30:38 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, हार्ड बेक प्रक्रिया के दौरान 1°C का अंतर कोई “जोखिम” नहीं है… बल्कि यह तो प्रक्रिया को रोकने वाला कारक है। क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल निर्धारित मानों से बाहर चला जाता है, और ऐसी स्थिति में प्रक्रिया रुक जाती है।
यह तय करने वाला मुख्य कारक है कि आपकी थर्मल प्रक्रिया सफल एवं सुसंगत रहेगी या नहीं… और यह तो वेफर क्यूरिंग लैंप में मौजूद रिफ्लेक्टर ही है।
वास्तव में, आपको ऐसा नियंत्रण चाहिए जिसे मापा जा सके। हम रिफ्लेक्टर की व्यवस्था ऐसी करते हैं कि लैंप का स्पेक्ट्रम वेफर की सतह पर समान रूप से फैले… ताकि वेफर पर तापमान का अंतर ±0.1°C तक ही रहे… ऐसा करने से सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ सही तरीके से ही हो पाती हैं।
सतह की गुणवत्ता एवं सामग्री का चयन, कणों के उत्पादन को कम करता है… इससे कणों की संख्या क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप ही रहती है।
जब प्रक्रिया 24/7 चलती है, तो उत्पादन की गुणवत्ता स्थिर रहती है… स्थिर विकिरण स्तर के कारण, विभिन्न बैचों में डोज़ में कोई अंतर नहीं आता।
व्यवहारिक दृष्टि से, यह बहुत ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि सुसंगत बेकिंग प्रक्रिया से पुनर्कार्य एवं अपशिष्ट कम हो जाता है… और स्थिर विकिरण स्तर से फोटोरेजिस्ट की सतह की गुणवत्ता भी बेहतर रहती है।
रिफ्लेक्टर की दक्षता, आसपास के मॉड्यूलों पर पड़ने वाले थर्मल बोझ को भी कम करती है… इससे ऊर्जा की खपत कम होती है, एवं लैंप एवं अन्य घटकों का जीवनकाल भी बढ़ जाता है।
प्रक्रिया में कम विचलन होता है… चक्र-समय भी अनुमानित ही रहता है… अनप्लान्ड रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
एक व्यावहारिक सलाह: रिफ्लेक्टर तभी ही प्रभावी रहता है, जब लैंप की स्थिति सही हो, एवं उसकी माउंटिंग सतहें स्वच्छ हों… निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रिफ्लेक्टर को लगाएं… एवं हर बार लैंप बदलने के बाद तापमान की जाँच अवश्य करें।
यदि आप इन सीमाओं से बाहर काम करते हैं, तो वेफर पर तापमान में अंतर आ जाएगा… ऐसी स्थिति में वेफर पर असमानताएँ देखने को मिलेंगी… भले ही सेटपॉइंट सही ही क्यों न हो।

एटैच एडहेसिव क्यूरिंग मशीन

Fri, 19 Jun 2026 02:49:01 +0800

फैब्रिकेशन लाइन पर, स्थिति ऐसी ही होती है… अगर किसी डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया में तापमान सही स्तर पर न रहे, तो पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है। तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव से न केवल सामग्री बर्बाद होती है, बल्कि प्रत्येक लिथोग्राफी/पैकेजिंग प्रक्रिया में भी समस्याएँ आती हैं। इसलिए ऐसी प्रक्रियाओं हेतु ऐसा क्यूरिंग प्लेटफॉर्म आवश्यक है, जो एक “स्थिर प्रक्रिया” के रूप में कार्य करे, न कि कोई अन्य चर।

क्या महत्वपूर्ण है?
हमने डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया हेतु ऐसा सिस्टम विकसित किया है, जिसमें सब्सट्रेट पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है। हीटिंग मॉड्यूल शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक पर कार्य करता है, इसलिए तापमान सतह पर ही मापा जाता है – चैंबर सेंसरों के आधार पर नहीं।
0.1 μm आकार के कणों की संख्या 1 पार्टिकल/फीट³ से कम ही रहती है; हवा के प्रवाह को ऐसे ही व्यवस्थित किया गया है ताकि कोई अवरोध न आए। 10,000 चक्रों में त्रुटि ≤0.2% ही रहती है… क्योंकि सेमीकंडक्टर उत्पादन में ऐसी त्रुटियाँ स्वीकार्य नहीं हैं।