क्लीनरूम में उपचार हेतु एक बेहतर तरीका
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में समय बिताया है, तो आपको पता होगा कि फोटोरेसिस्टों को सुखाने या चिपकाने वाले पदार्थों को सुखाने में कितनी परेशानी होती है… खासकर जब हवा की गुणवत्ता बनाए रखनी हो। आमतौर पर इसके लिए गर्म हवा का उपयोग किया जाता है। लेकिन क्लीनरूम में गर्म हवा का उपयोग करना बहुत ही कठिन है… क्योंकि ऐसा करने से ISO मानकों को बनाए रखना मुश्किल हो जाता है।
यहीं पर इन्फ्रारेड (IR) लैंप काम आते हैं।
IR लैंप, पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय, ऊर्जा को सीधे लक्षित वस्तु पर ही भेजते हैं। इससे ऊर्जा की बचत होती है… और आपको बड़े-बड़े ब्लोअर या हीटिंग उपकरणों की आवश्यकता भी नहीं पड़ती। इन लैंपों को सक्रिय होने में कुछ ही सेकंड लगते हैं… इसलिए आपको ओवन के गर्म होने का इंतज़ार करने में ऊर्जा बर्बाद नहीं करनी पड़ती। यह तो पृथ्वी के लिए भी अच्छा है।
लेकिन सबसे मुश्किल बात क्या है?
आप कोई भी लैंप बस ऐसे ही इस्तेमाल नहीं कर सकते। हम क्वार्ट्ज एनवेलप उपयोग में लाते हैं… क्योंकि ऐसा करने से वेफर में कोई दूषण नहीं आता। थोड़ी सी भी गंदगी से पूरा बैच बर्बाद हो जाता है।
आपको तरंगदैर्घ्य के बारे में भी सावधान रहना होगा… ऊर्जा को लक्षित वस्तु पर ही पहुँचना चाहिए, न कि नीचे के सर्किटों को नुकसान पहुँचाना चाहिए।
और हाँ, ऊष्मा-घनत्व पर भी ध्यान देना आवश्यक है… यदि आप अधिक ऊर्जा का उपयोग करेंगे, तो वेफर में गर्मियाँ बढ़ जाएँगी… जिससे वेफर खराब हो जाएगा। मैं हमेशा PID कंट्रोलर एवं थर्मोकपल फीडबैक लूप का ही उपयोग करने की सलाह देता हूँ… ऐसा करने से तापमान 2°C के भीतर ही रहता है… जिससे आपको कई समस्याओं से बचना पड़ता है।
बदलने की क्या आवश्यकता है?
वैज्ञानिक कारणों के अलावा, यह तो आपके स्थान के लिहाज से भी बेहतर है… IR लैंप, कन्वेक्शन ओवन की तुलना में बहुत ही छोटा होता है… ऐसा करने से ऊर्जा-खपत में 30% से 50% तक की बचत होती है।
इसे सेट करना भी आसान है… लेकिन एक बात ध्यान रखें… बिजली की आपूर्ति की जाँच जरूर करें… क्योंकि जब ये लैंप चालू होते हैं, तो उनसे बहुत अधिक धारा बहती है… और कोई भी व्यक्ति अपना समय बर्बाद नहीं करना चाहेगा।