फैब्रिकेशन लाइन पर, स्थिति ऐसी ही होती है… अगर किसी डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया में तापमान सही स्तर पर न रहे, तो पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है। तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव से न केवल सामग्री बर्बाद होती है, बल्कि प्रत्येक लिथोग्राफी/पैकेजिंग प्रक्रिया में भी समस्याएँ आती हैं। इसलिए ऐसी प्रक्रियाओं हेतु ऐसा क्यूरिंग प्लेटफॉर्म आवश्यक है, जो एक “स्थिर प्रक्रिया” के रूप में कार्य करे, न कि कोई अन्य चर।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया हेतु ऐसा सिस्टम विकसित किया है, जिसमें सब्सट्रेट पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है। हीटिंग मॉड्यूल शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक पर कार्य करता है, इसलिए तापमान सतह पर ही मापा जाता है – चैंबर सेंसरों के आधार पर नहीं।
0.1 μm आकार के कणों की संख्या 1 पार्टिकल/फीट³ से कम ही रहती है; हवा के प्रवाह को ऐसे ही व्यवस्थित किया गया है ताकि कोई अवरोध न आए। 10,000 चक्रों में त्रुटि ≤0.2% ही रहती है… क्योंकि सेमीकंडक्टर उत्पादन में ऐसी त्रुटियाँ स्वीकार्य नहीं हैं।
यह सिस्टम डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया हेतु क्यों उपयुक्त है?
डाई-एटैचमेंट प्रक्रिया में तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है… अगर तापमान कम हो, तो बॉन्डलाइन ठीक से नहीं बन पाती; अगर तापमान ज्यादा हो, तो गैसें बॉन्ड पैड को दूषित कर देती हैं। हमारा सिस्टम तापमान को पूरी तरह नियंत्रित करता है… इसलिए हर बार उत्पादन प्रक्रिया सही तरीके से ही होती है।
इससे रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पाद की गुणवत्ता स्थिर रहती है… और क्यूरिंग प्रक्रिया कोई बाधा नहीं बनती। कंवेक्शन ओवनों की तुलना में ऊर्जा की खपत 20–30% कम हो जाती है… और चक्र समय भी कम हो जाता है।
पहले ही क्या योजना बनानी आवश्यक है?
यह सिस्टम ऑटोमेटेड बैकएंड लाइनों में इंटीग्रेट किया जा सकता है… लेकिन इसके लिए कम लाइन नॉइज वाली शुद्ध ऊर्जा आवश्यक है… एवं कणों की संख्या को नियंत्रित करने हेतु विशेष व्यवस्था भी आवश्यक है। यह पुराने हीटप्लेटों के स्थान पर उपयोग में नहीं आ सकता… जब तक कि आपकी कैरियर हैंडलिंग एवं एक्जॉस्ट सिस्टम उचित न हों।
अपनी मौजूदा MES प्रक्रियाओं के आधार पर ही योजना बनाएं… एवं अपने विशिष्ट एडहेसिव फॉर्मूलेशन के आधार पर ही इसका मूल्यांकन करें… क्योंकि विभिन्न रासायनिक पदार्थों के लिए एक्सोथर्मल व्यवहार अलग-अलग होता है।