अपने हीटिंग एलिमेंट्स को रोकें… ताकि वे आपके वेफरों को नुकसान न पहुँचाएँ।
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि एयर फिल्टर केवल आधा ही काम करते हैं। असली समस्या तो हीटिंग एलिमेंट्स ही हैं… ये ऐसे स्रोत हैं जिनसे गैसें एवं कण निकलते रहते हैं… ठीक उसी समय जब ऐसा होना बिल्कुल भी नहीं चाहिए।
इसीलिए हम अपने IR लैंपों में उच्च-शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं… ऐसा करने से वेफरों पर कोई गंदगी नहीं जमती।
सामग्री संबंधी जानकारी
सामान्य क्वार्ट्ज में आमतौर पर अशुद्धियाँ होती हैं… जब तापमान बढ़ता है, तो ये अशुद्धियाँ वाष्पीभूत हो जाती हैं… यह अच्छी बात नहीं है।
हम उच्च-शुद्धता वाला सिलिका ही उपयोग में लाते हैं… ऐसा करने से तापमान में परिवर्तन होने पर भी लैंप से कोई कण नहीं निकलते। हम यह भी सुनिश्चित करते हैं कि क्वार्ट्ज ऐसा ही हो कि वह तेज गर्मी/ठंडक के चक्रों को आसानी से सह सके… इससे लैंप में दरारें नहीं पड़तीं… और कोई सूक्ष्म कण भी आपके प्रोसेस चैंबर में नहीं जाता।
सही तापमान प्राप्त करना
हम शॉर्टवेव IR का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह वेफर की सतह पर जल्दी ही पहुँच जाता है।
जितनी जल्दी वेफर गर्म होता है, उतना ही कम समय वह उच्च तापमान पर रहता है… यह बहुत ही अच्छी बात है… क्योंकि ऐसा करने से वेफर पर कोई रासायनिक प्रतिक्रिया नहीं होती।
यहाँ सटीकता बहुत ही महत्वपूर्ण है… यदि आप 300 मिमी वाले टूल का उपयोग कर रहे हैं, तो लैंप की लंबाई एवं वॉटेज को आपकी पावर सप्लाई के अनुरूप ही होना चाहिए… अन्यथा वेफर पर गर्म बिंदु बन जाते हैं… और यदि वॉटेज अधिक हो, तो लैंप के फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
लैंपों को बदलना… एवं उन्हें सुरक्षित रखना
हम सामान्य कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… इसलिए ऐसे लैंपों को आसानी से ही बदला जा सकता है… आपको पूरे रैक के वायरिंग को फिर से व्यवस्थित करने की आवश्यकता नहीं है।
लेकिन एक बात ध्यान रखें… उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज त्वचा के तेलों के कारण खराब हो सकता है…
एक ही उंगली का निशान भी लैंप को खराब कर सकता है…
कृपया, इन लैंपों को लगाते समय लिन्ट-फ्री दस्ताने ही पहनें… यदि क्वार्ट्ज पर तेल लग जाए, तो वह जल्दी ही खराब हो जाएगा… यह एक छोटा सा कदम है… लेकिन इससे बहुत सी परेशानियाँ टल जाती हैं।