http://home-ir-warmth.com/he/tags/temp/ Recent content in Temp on Gentle Home Infrared Warmth Hugo he Tue, 02 Jun 2026 04:11:47 +0800 http://home-ir-warmth.com/he/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Tue, 02 Jun 2026 04:11:47 +0800 http://home-ir-warmth.com/he/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="תנור טמפרטורה גבוהה למעבדת פאב"></p> <h1 id="על-רצפת-המפעל">על רצפת המפעל</h1> <p>תנודת טמפרטורה של 2°C במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיקה להזיז רוחב קו בננומטרים. חלקיק בודד במהלך הייבוש יכול להזיק רבות. לכן קיים תנור זה בטמפרטורה גבוהה: להוציא את המשתנה מהשלבים התרמיים. בנינו אותו לרגעים שבהם הטמפרטורה אינה רק פרמטר - היא התהליך.</p> <p>מה חשוב מתחת למכסה המנוע<br> התנור שומר על אחידות תרמית ברמת המשטח בטווח ±0.1°C על פני כל האצווה, כך שתכונות הסרט הקריטיות נשארות עקביות מאצווה לאצווה. תאימות למחלקות חדר נקי Class 1–100 מושגת באמצעות ממשקי תא אטומים וחומרים בעלי פליטת גזים נמוכה, מה שמבטיח אפס יצירת חלקיקים בזמן ההתחממות וההחזקה. פרופילי אפיית פוטורזיסט רך וקשה מתבצעים עם יציבות טמפרטורה השומרת על בקרת מימדי מפתח צמודה. לאפיית אריזות, מתקבלים תהליכי חימום מהירים ומבוקרים ללא חריגות תרמיות – ללא סדקים בדבק המותקן וללא הפרדות שכבות. צריכת האנרגיה מנוהלת באמצעות בידוד אש וציוד חימום מותאם במחזורי עבודה, מה שמפחית עלות לכל וופר בלי להתפשר על דיוק.</p>