http://home-ir-warmth.com/he/tags/process/ Recent content in Process on Gentle Home Infrared Warmth Hugo he Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/he/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="תהליך השרפה חימום אינפרא אדום"></p> <p>בקו ה-300mm, אשינג הוא לא סתם &ldquo;שריפה&rdquo;. זה ניהול תקציב תרמי הדוק. שאריות פוטורזיסט לאחר הסטריפ עלולות לחדור לשכבת הליתוגרפיה הבאה, ואם החימום אינו אחיד, קיים סיכון לבריחה תרמית שתפגע בתפוקה שלך. בנינו את מודולי האשינג התת-אדום שלנו כדי לפעול במציאות הזו.</p> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> תת-האדום מספק אנרגיה מהירה וללא מגע, השוקלת לפי ספיגה ולא לפי טמפרטורת גוף המערכת. מקורות הקרינה הקצרה שלנו, בשילוב עם עיצוב תרמי משודרג בקוורץ, שומרים על אחידות ברמת המשטח בתוך ±0.1℃ לאורך כל חלון התהליך. המערכת משמרת את היציבות הזו בנקודות ההגדרה שבהן אכן משתמשים לסטריפ פוטורזיסט, עם חזרות מדויקות מספיק לשמירה על שליטה בקריטיות הממדית.</p>