בקו ה-300mm, אשינג הוא לא סתם “שריפה”. זה ניהול תקציב תרמי הדוק. שאריות פוטורזיסט לאחר הסטריפ עלולות לחדור לשכבת הליתוגרפיה הבאה, ואם...

על רצפת המפעל, אפיית פוטורזיסט אינה “משהו נחמד שיהיה.” זו מגבלה מחמירה. סטייה של 2°C באזור החם תשנה במהירות את סטיית המידות הקריטיות,...