תנור טמפרטורה גבוהה למעבדת פאב

על רצפת המפעל תנודת טמפרטורה של 2°C במהלך אפיית הפוטורזיסט מספיקה להזיז רוחב קו בננומטרים. חלקיק בודד במהלך הייבוש יכול להזיק רבות. לכן קיים תנור זה...