בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, הדרישות הן קפדניות מאוד. שינוי של 0.2°C בטמפרטורה על פני הוואפר יכול לפגוע בשליטה ברוחב הקווים, ולגרום לבעיות בפרופיל הפוטורזיסט. כאשר מדחס הוואקום של Leybold מפסיק לעבוד כראוי, אנו לא רק מאבדים תפוקה – אלא גם מבזבזים שעות רבות על תהליך שנהיה לפתע לא יעיל. ייצרנו חלקי חילוף אלו כדי שנוכל להחזיר את המדחס לתפקודו התקין, עם רמת חזרתיות שמאפשרת ייצור 24/7.
מה חשוב מבחינה טכנית? הדבר החשוב ביותר הוא אחידות הטמפרטורה על פני הוואפר – ברמה של ±0.1°C באזור החימום. שליטה כזו מבטיחה שטמפרטורות החימום יהיו עקביות, מה שמאפשר שמירה על יציבות ה-CD ומפחית את הפגמים שנוצרים כאשר הטמפרטורות משתנות. החומרים והמבנה של חלקי החילוף מתאימים לשימוש בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, והם אינם פולטים חלקיקים במהלך הפעולה. כל חלק חילוף מתאים לממשק של Leybold – גאומטריה של המדחס, מיקום החיבורים והקשר התרמי – כך שהמערכת תפעל באותו אופן כמו המדחס המקורי.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט? רמת החזרתיות של הטמפרטורה היא זו שקובעת אם התהליכים יהיו צפויים או שיהיה צורך בתיקונים תכופים. עם חלקי החילוף האלו, פרופילי החימום נשארים בתוך הטווח המותר. קל יותר לשלוט ברמת החזקת החומרים, וכך יש פחות פסולת. כמו כן, התפוקה נשארת יציבה. ואין צורך לבזבז אנרגיה על תהליכי חימום שנועדו לפצות על שינויים בטמפרטורה.
כמה הערות פרקטיות: כדי שהטמפרטורות יהיו עקביות, יש להתקין את חלקי החילוף כראוי, לשמור על ניקיון המשטחים המחוברים, ולבדוק שוב את מיקום התרמוקפלים. לאחר ההחלפה, יש לבצע בדיקה מהירה – בדרך כלל על גבי אספקה אחת – כדי לאשר שהטמפרטורות נשארות עקביות. ואל תשתמשו במדחס בטמפרטורות שאינן בטווח המותר, או עם חותמות של החדר שכבר לא תקינות – שני דברים אלו עלולים לפגוע באחידות הטמפרטורה. שילבו את חלקי החילוף עם תחזוקה סדורה של החדר, ותוכלו לשמור על האחידות הרצויה.