Thermocouple pour chauffage à semi conducteurs

Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800

En matière de traitement du photorésistant, les écarts de température ne sont pas tolérés. Une déviation de 2 °C pendant le séchage entraîne des variations de la largeur des lignes sur toute la surface de la wafer. Le taux de productivité diminue avant même que l’inspecteur ne puisse s’en rendre compte. Nous avons conçu notre thermocouple pour les chauffages à semi-conducteurs afin d’éviter ces pertes dès leur origine.

Ce qui est important Ce thermocouple est conçu pour assurer un contrôle précis de la température, car les exigences du processus sont exprimées en dizaines de degrés. Il permet d’obtenir une uniformité de température de ±0,1 °C dans toute la zone de chauffage, ce qui garantit que le flux du photorésistant et l’élimination des solvants se font dans les limites prescrites. Le capteur est compatible avec des chambres propres de classe 1–100 et ne produit aucune particule, ce qui évite toute contamination pendant le processus de lithographie. La répétabilité des résultats est constante, ce qui permet d’éviter tout arrêt imprévu des équipements à grande échelle. La géométrie du capteur convient aux blocs de chauffage standard et aux connecteurs courants, ce qui simplifie son installation et ses remplacements.

Thermocouple on Gentle Home Infrared Warmth

Thermocouple pour chauffage à semi conducteurs