Chauffage de séchage de plaquette Micro LED

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

Sur une ligne Micro LED, le séchage n’est pas une « pause » que l’on peut prendre, c’est un levier de rendement qu’il est impossible de mal gérer. Une déviation de température lors du préchauffage doux du photoresist ou du séchage post-nettoyage décalera les largeurs de ligne, laissera des résidus et fera augmenter le nombre de particules. Lorsque le chauffage déraille, c’est le programmateur qui en paie le prix, en rebuts et retouches.

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Chauffage de séchage de plaquette Micro LED