Processus de chauffage par infrarouge de cendre

Wed, 10 Jun 2026 02:14:55 +0800

Sur la ligne 300mm, le décalaminage n’est pas simplement une « brûlure ». Il s’agit de gérer un budget thermique strict. Les résidus de photoresistants laissés après le strip peuvent se répercuter sur la couche lithographique suivante, et en cas de chauffage non uniforme, on risque une montée en température incontrôlée qui dégradera le rendement. Nos modules de décalaminage infrarouge sont conçus pour opérer dans ces conditions.

Ce qui compte, techniquement
L’infrarouge fournit une énergie rapide et sans contact qui évolue avec l’absorption, non pas avec la température globale. Nos émetteurs infrarouges à ondes courtes, associés à une conception thermique optimisée par quartz, garantissent une uniformité au niveau de la tranche dans la limite de ±0,1°C sur toute la plage de process. Le système maintient cette stabilité aux points de consigne utilisés pour le stripping de photoresistants, avec une répétabilité suffisamment rigoureuse pour assurer un contrôle précis des dimensions critiques.
La compatibilité salle blanche n’est pas une réflexion secondaire. Nous utilisons des matériaux à faible dégazage, des jonctions étanches et un cheminement contrôlé des particules afin que les comptages restent dans les standards Classe 1–100. Le résultat est un profil de strip prévisible, des vitesses d’enlèvement constantes et un stress thermique minimal sur les films sous-jacents.

Cendrage on Gentle Home Infrared Warmth

Processus de chauffage par infrarouge de cendre