Arrêtez que vos éléments de chauffage ne détériorent vos wafer
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous savez déjà que les filtres à air ne suffisent pas pour garantir une bonne qualité d’air. Le véritable problème vient des éléments de chauffage : ils peuvent être une source de gaz et de particules qui se déposent sur les wafer, au moment où cela est le moins souhaitable.
C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges. Cela permet d’éviter que des impuretés ne se déposent sur les wafer.
Les matériaux utilisés
En réalité, le quartz standard contient généralement des impuretés. Lorsque la température monte, ces impuretés s’évaporent. Ce n’est pas bon. Nous utilisons donc de la silice de haute pureté, afin que l’enveloppe de la lampe ne libère pas de particules à chaque changement de température. De plus, nous veillons à ce que le quartz soit suffisamment résistant pour supporter ces cycles de chauffage et de refroidissement rapides. Ainsi, il n’y a ni fissures, ni éclats de verre, ni poussière microscopique qui pourrait entrer dans la chambre de traitement.
Le contrôle de la température
Nous utilisons des lampes infrarouges à ondes courtes, car elles atteignent rapidement la surface du wafer. Plus la température monte rapidement, moins le wafer reste à des températures extrêmes. C’est un avantage important, car cela réduit le risque de réactions chimiques indésirables sur le substrat. La précision est essentielle ici. Si vous travaillez avec un outil de 300 mm, la longueur et la puissance de la lampe doivent correspondre parfaitement à celles de votre alimentation électrique. Sinon, des zones chaudes apparaîtront. De plus, si vous choisissez une puissance trop élevée sans disposer de ventilateurs adéquats pour évacuer la chaleur, les filaments brûleront beaucoup trop tôt.
Remplacement des éléments de chauffage
Nous utilisons des connecteurs standards, ce qui signifie que ces éléments peuvent être remplacés facilement. Vous n’aurez pas besoin de passer toute l’après-midi à redessiner les connexions simplement pour remplacer un élément endommagé.
Mais attention : le quartz de haute pureté est sensible aux huiles de la peau. Une seule empreinte digitale peut créer un point de stress sur le quartz. Veuillez utiliser des gants sans poils lors de l’installation de ces éléments. Si de l’huile vient à se déposer sur le quartz, celui-ci se détériore bien avant que les filaments ne brûlent. C’est un petit geste qui évite beaucoup de frustrations.