نیمههادی on Gentle Home Infrared Warmth

هیتر چرخدار اتاق تمیز نیمههادی

Fri, 17 Jul 2026 02:05:45 +0800

تنظیم صحیح دمای ویفر

اگر تجربه کار در اتاق‌های پاکسازی نیمه‌هادی را داشته‌اید، می‌دانید که این کار چقدر دشوار است. شما باید اطمینان حاصل کنید که گرمایش ویفر به طور یکنواخت انجام شود؛ اما در عین حال نمی‌خواهید هیچ نوع آلودگی‌ای مانع این کار شود. این کار واقعاً چالش‌برانگیز است. اکثر افراد از منعکس‌کننده‌های آلومینیومی استفاده می‌کنند؛ اما مشکل اینجاست که این منعکس‌کننده‌ها مقدار زیادی از تشعشعات مادون قرمز را جذب می‌کنند. در واقع، شما برای انرژی‌ای پول پرداخته‌اید که اصلاً به ویفر نمی‌رسد.
در اینجاست که روکش‌های طلایی وارد عمل می‌شوند.

جفت حرارتی برای گرمکن نیمههادی

Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800

در فرآیند پختن فوتورزیست، هرگونه انحراف در دما می‌تواند منجر به مشکلات جدی شود. اختلاف دمایی ۲ درجه سانتی‌گراد در حین پختن، باعث ایجاد تغییرات در ابعاد ویفر می‌شود؛ این امر قبل از اینکه بازرس بتواند متوجه آن شود، باعث کاهش کیفیت محصول می‌گردد. ما ترموکوپل مناسبی برای هیترهای نیمه‌هادی طراحی کرده‌ایم تا این اختلافات را در همان ابتدا خنثی کند.

چه چیزهایی مهم هستند؟
این ترموکوپل برای کنترل دما در شرایطی طراحی شده است که دقت کنترل دما در حد دهم‌های درجه باشد. این ترموکوپل، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌کند؛ بنابراین جریان فوتورزیست و حذف حلال‌ها نیز در محدوده استانداردها باقی می‌ماند. این سنسور سازگار با اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ است و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند؛ بنابراین آلودگی‌ها از فرآیند لیتوگرافی جلوگیری می‌شود. قابلیت تکرارپذیری خروجی این سنسور، در تمام ساعات شبانه‌روز پایدار است؛ بنابراین توقف‌های غیرمنتظره در دستگاه‌هایی که با حجم بالایی کار می‌کنند، کاهش می‌یابد. همچنین، ساختار این سنسور سازگار با بلوک‌های هیتر استاندارد و رابط‌های اتصال معمولی است؛ بنابراین نصب آن ساده بوده و تعویض آن نیز سریع انجام می‌شود.

گرمکن نیمههادی کنترلشونده با PID

Mon, 29 Jun 2026 03:25:37 +0800

در کارخانه‌های تولید، حتی تغییر نیم درجه‌ای در دمای فر، می‌تواند باعث شود کیفیت فوتورزیست مناسب نشود و محصولات ضایع شوند. اگر می‌خواهید بازدهی تولید را حفظ کنید، کنترل حرارتی نباید چیزی باشد که به بعد از تولید در نظر گرفته شود؛ بلکه باید به عنوان یک پارامتر مهم در فرآیند تولید در نظر گرفته شود.

چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما این هیتر نیمه‌هادی را با استفاده از سیستم کنترل PID طراحی کرده‌ایم؛ این سیستم برای استفاده در ایستگاه‌های فرآوری ویفرها مناسب است. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در هر بار تولید بالا خواهد بود. بدنه هیتر نیز برای استفاده در محیط‌های پاکسازی‌شده، در کلاس‌های ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ مواد و سطوح مورد استفاده نیز به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که ایجاد ذرات در سطح ویفر صفر باشد. این هیتر طوری طراحی شده که بتواند ۲۴/۷ بدون هیچ توقفی کار کند؛ همچنین، پایداری دما نیز باعث می‌شود که دما در محدوده مجاز فوتورزیست باقی بماند.

لامپ گرمایشی مادون قرمز نیمههادی

Tue, 23 Jun 2026 13:39:51 +0800

در فرآیند لیتوگرافی، پروفایل حرارتی مورد استفاده – چه در حالت پخت نرم و چه در حالت پخت سخت – تعیین‌کننده کنترل ابعاد مهم و شکل فوتورزیست است. هر تغییر ۵ درجه‌ای در دمای منطقه گرم، باعث کاهش بازدهی فرآیند خراشیدن لایه‌ها می‌شود. ما لامپ گرمایشی مادون قرمز برای نیمه‌هادی‌ها را طوری طراحی کرده‌ایم که این نوسانات را از بین ببرد.

از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ این لامپ از نوع مادون قرمز با طول موج کوتاه است؛ بنابراین واکنش سریعی دارد – در کمتر از یک ثانیه. انرژی مورد نیاز به طور دقیق به ویفر منتقل می‌شود. در سراسر ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه حفظ می‌شود؛ این موضوع باعث می‌شود که فرآیند پخت در هر بار تکرار، یکنواخت باشد. این لامپ بدون هیچ ذره آلاینده‌ای کار می‌کند و می‌تواند در اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ استفاده شود. از نظر زمان کارکرد، خروجی لامپ در تمام ساعات شبانه‌روز پایدار است؛ این لامپ‌ها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کرده‌اند و انحراف خروجی آن‌ها کمتر از ۵٪ بوده است.