http://home-ir-warmth.com/fa/tags/%D9%81%D8%B1%D8%A7%D8%A8%D9%86%D9%81%D8%B4/ Recent content in فرابنفش on Gentle Home Infrared Warmth Hugo fa Mon, 01 Jun 2026 18:12:39 +0800 http://home-ir-warmth.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 01 Jun 2026 18:12:39 +0800 http://home-ir-warmth.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="قطعات گرمکننده رزین مقاوم در برابر اشعه فرابنفش شدید (EUV)"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، تابش EUV بودجه حرارتی هر لایه فتورزیست را تا مرز نهایی فشار می‌دهد. انحراف دمایی بیش از ±0.5°C در طول مراحل سافت بیک یا هارد بیک کافی است تا اهداف ابعاد بحرانی (CD) از دست برود، نقص‌های چاپ ایجاد شود و ویفرهایی که ساعت‌ها سابقه فرآیند جلویی دارند دور ریخته شوند. قطعات هیتر که مراحل بیک را تأمین می‌کنند، صرفاً لوازم جانبی نیستند. آن‌ها گره‌های کنترل فرآیند هستند، کاملاً ساده و دقیق.</p>