جلوی خراب شدن ویفرهای شما توسط عناصر گرمایشی را بگیرید!
اگر از اتاقهای پاکسازی درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، میدانید که فیلترهای هوا تنها نیمی از کار را انجام میدهند. مشکل واقعی، عناصر گرمایشی هستند؛ زیرا میتوانند منبعی برای انتشار گازها و ذرات باشند، درست در زمانی که کمتر از هر زمان دیگری نیاز به پاکیزگی ویفرها وجود دارد.
به همین دلیل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که ذرات ناخواسته روی ویفرها تجمع نکنند.
مسئله مواد
کوارتز استاندارد معمولاً حاوی ناخالصیهایی است؛ وقتی دما بالا میرود، این ناخالصیها تبخیر میشوند. این موضوع خوب نیست.
ما از سیلیکا با خلوص بالا استفاده میکنیم تا پوسته لامپ در هر بار تغییر دما، ذراتی تولید نکند. همچنین مطمئن میشویم که کوارتز در برابر چرخههای سریع گرم شدن و سرد شدن مقاوم باشد؛ یعنی هیچ ترکی یا شکستگی در کوارتز ایجاد نشود. همچنین، هیچ ذره کوچکی وارد محفظه فرآیند نخواهد شد.
تنظیم دما
ما از لامپهای مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها به سرعت سطح ویفر را گرم میکنند. هرچه دما سریعتر افزایش یابد، زمانی که ویفر در دماهای بسیار بالا قرار دارد، کمتر خواهد بود. این موضوع مزیت بزرگی است؛ زیرا خطر وقوع واکنشهای شیمیایی ناخواسته را کاهش میدهد.
دقت در انتخاب مشخصات لامپ بسیار مهم است؛ اگر از لامپهای ۳۰۰ میلیمتری استفاده میکنید، طول و توان لامپ باید کاملاً متناسب با منبع تغذیه باشد. در غیر این صورت، نقاط گرم ایجاد خواهد شد. همچنین، اگر توان لامپ بیش از حد باشد و فنهای مناسبی برای خنک کردن لامپ وجود نداشته باشد، فیلامنتهای لامپ خیلی زود خراب خواهند شد.
تعویض لامپها
ما از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ بنابراین تعویض لامپها کار سادهای است. نیازی نیست کل rack را دوباره وصل کنید تا یک لامپ خراب را تعویض کنید.
اما یک هشدار مهم: کوارتز با خلوص بالا نسبت به روغنهای پوستی حساس است.
یک اثر انگشت میتواند باعث ایجاد نقاط فشاری شود.
لطفاً هنگام نصب لامپها از دستکشهای بدون الیاف استفاده کنید. اگر روغن روی کوارتز بریزد، کوارتز زودتر خراب خواهد شد. این کار کوچک، میتواند از ناراحتیهای زیاد جلوگیری کند.