Termopar para calentador de semiconductores

Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800

En la línea de producción, los procesos de cocción del fotorevestimiento no toleran errores. Una variación de 2°C durante el proceso de cocción puede causar variaciones en las dimensiones de la oblea. La calidad del producto disminuye antes incluso de que el inspector pueda detectarlo. Hemos diseñado este termopar para los calentadores utilizados en semiconductores, con el fin de evitar dichas pérdidas desde el inicio.

Lo que realmente importa Este termopar está diseñado para un control térmico preciso, ya que las fluctuaciones de temperatura pueden ser de decimas de grado. Permite lograr una uniformidad de ±0.1°C en toda la zona caliente de la oblea, lo que asegura que el flujo del fotorevestimiento y la eliminación de los solventes se realicen según las especificaciones. El sensor es compatible con salas limpias de clase 1-100 y no emite partículas, lo que evita la contaminación durante el proceso de litografía. La repetibilidad del rendimiento es constante, lo que permite evitar tiempos de inactividad no planificados en las máquinas de alta producción. La geometría del sensor permite su integración en los bloques de calentamiento estándar y en interfaces de conexión comunes, lo que facilita su instalación y sustitución.

Termopar on Gentle Home Infrared Warmth

Termopar para calentador de semiconductores