Calentamiento por infrarrojos en el proceso de calcinación

Wed, 10 Jun 2026 02:14:55 +0800

En la línea de 300mm, el ashing no es simplemente una “quema”. Es la gestión de un presupuesto térmico ajustado. El residuo de fotoresiste que queda tras el stripping puede transferirse a la siguiente capa de litografía, y si el calentamiento no es uniforme, se corre el riesgo de una inestabilidad térmica que afectará el rendimiento. Nuestros módulos de ashing por infrarrojos fueron diseñados para funcionar bajo esas condiciones.

Lo que importa, técnicamente
El infrarrojo proporciona energía rápida y sin contacto que escala con la absorción, no con la temperatura global. Nuestros emisores de infrarrojo de onda corta, combinados con un diseño térmico mejorado con cuarzo, mantienen la uniformidad a nivel de wafer dentro de ±0.1°C en toda la ventana de proceso. El sistema conserva esa estabilidad en los puntos de ajuste que se usan para el stripping de fotoresiste, con repetibilidad suficientemente ajustada para mantener el control de dimensiones críticas.

Proceso on Gentle Home Infrared Warmth

Calentamiento por infrarrojos en el proceso de calcinación