Horno para sala limpia calentador por infrarrojos

Tue, 14 Jul 2026 11:52:05 +0800

Mantener su sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si opera en una sala limpia de clase 100 (ISO 5), ya conoce bien el problema que supone la presencia de incluso una sola partícula en el aire. Un pequeño fragmento resultante de la oxidación o un poco de gas proveniente de los elementos calefactores pueden destruir su wafer o componente óptico.

Por lo general, los calentadores resistentes son la causa de este problema. Se desintegran y se oxidan fácilmente; simplemente no están diseñados para ese nivel de precisión. Por eso, preferimos usar lámparas infrarrojas de cuarzo sintético de alta pureza.

Horno de alta temperatura para laboratorio de fabricación

Tue, 02 Jun 2026 04:11:47 +0800

En la planta de fabricación, una variación de 2°C durante el horneado de fotoresiste es suficiente para desplazar una línea por nanómetros. Una sola partícula durante el secado puede arruinar muchas piezas. Por eso existe este horno de alta temperatura: para eliminar la variabilidad en los pasos térmicos. Lo diseñamos para los momentos en que la temperatura no es solo un parámetro, sino el proceso.

Qué importa bajo la superficie
El horno mantiene una uniformidad térmica a nivel de oblea de ±0.1°C en todo el lote, de modo que las propiedades críticas de la película se mantengan repetibles de lote a lote. La compatibilidad con salas limpias Clase 1–100 proviene de interfaces de cámara selladas y materiales de baja emisión de gases, manteniendo la generación de partículas en cero durante la rampa y el tiempo de mantenimiento. Los perfiles de horneado suave y duro de fotoresiste se ejecutan con el tipo de estabilidad térmica que mantiene un control estricto de la dimensión crítica. Para el curado de empaques, se obtienen rampas rápidas y controladas sin sobrepasos térmicos, evitando fallas como adhesión fracturada o apilamientos deslaminados. El consumo energético se gestiona con aislamiento refractario y ciclos de trabajo optimizados en los calentadores, reduciendo el costo por oblea sin sacrificar precisión.

Horno on Gentle Home Infrared Warmth

Horno para sala limpia calentador por infrarrojos

Horno de alta temperatura para laboratorio de fabricación