Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 26 Jul 2026 14:25:30 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer beschädigen
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die Hälfte der Arbeit übernehmen. Das eigentliche Problem sind die Heizelemente – sie können eine Quelle für Ausdünstungen und Partikel sein, gerade dann, wenn man es am wenigsten gebrauchen kann.

Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch bleiben die schädlichen Stoffe von Ihren Wafern fern.

Die Probleme mit den Materialien
Standardquarz enthält in der Regel Verunreinigungen. Wenn die Temperatur steigt, verdampfen diese Verunreinigungen. Das ist nicht gut. Wir verwenden daher hochreines Silizium – so wird verhindert, dass die Lampenhülle bei jedem Temperaturwechsel Partikel abgibt. Zudem sorgen wir dafür, dass der Quarz widerstandsfähig gegen schnelle Temperaturänderungen ist. Dadurch entstehen keine Risse oder Glassplitter – und auch kein mikroskopisch kleiner Staub gelangt in den Prozessraum.

Temperatur on Gentle Home Infrared Warmth

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge