Mikro LED Wafer Trocknungsheizer

Sat, 06 Jun 2026 01:40:55 +0800

Auf einer Micro-LED-Linie ist das Trocknen keine Pause, die man einlegen kann – es ist ein Hebel für die Ausbeute, den man sich nicht leisten darf, falsch zu bedienen. Eine Temperaturschwankung während des Photoresist-Softbakes oder beim Trocknen nach der Reinigung verschiebt die Linienbreiten vom Zielwert, hinterlässt Rückstände und lässt die Partikelanzahl steigen. Wenn die Heizung ausfällt, zahlt der Scheduler dafür – in Ausschuss und Nacharbeit.

Was unter der Haube zählt

Wir haben diesen Wafer-Trocknungsheizer um Kurzwell-Infrarot-Elemente und einen quarzisolierten thermischen Pfad aufgebaut. Ziel ist eine Wafer-gleichmäßigkeit, der man vertrauen kann, innerhalb von ±0,1°C. Der Sollwert stellt sich schnell ein, und das Profil wiederholt sich Lauf für Lauf, sodass Photoresist-Bakes innerhalb des thermischen Budgets bleiben, ohne Überschwingen.

LED on Gentle Home Infrared Warmth

Mikro LED Wafer Trocknungsheizer

Was unter der Haube zählt